T/ICMTIAESG

T/ICMTIAESG 标准

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中关村集成电路材料产业技术创新联盟主要发布部门

这类代号什么意思

T/ICMTIAESG 标准

该标准代号的题录与编号规则，以国家标准编号管理办法和官方公告为准。

发布部门

中关村集成电路材料产业技术创新联盟

安全防护与应急 15 电子与信息技术 2 化工 1

标准清单 · 现行优先 · 前 200 条

T/ICMTIAESG 0040-2025 集成电路用前驱体二碘硅烷现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2025-10-28 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0039-2024 集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2024-06-01 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0034-2023 集成电路用混合气体 20%氟/氮现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2023-04-01 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0031-2022 集成电路用电子特种气体产品通用规范现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-07-31 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0016-2022 集成电路用气体乙硅烷现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-05-31 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0018-2022 集成电路用气体乙烯现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-05-31 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0019-2022 集成电路用气体二氟甲烷现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-05-31 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0020-2022 集成电路用气体锗烷现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-05-31 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0021-2022 高纯气体产品采样通则现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-05-31 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0022-2022 电子工业混合气体的制备称量法现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-05-31 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0023-2022 集成电路用混合气体 10%甲烷/氩现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-05-31 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0024-2022 集成电路用混合气体1.2%氦/氮现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-05-31 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0025-2022 集成电路用气体氯气现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-05-31 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0026-2022 集成电路用气体氯化氢现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-05-31 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0012-2022 集成电路用混合气体1.25%氪/氖现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-05-01 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0013-2022 集成电路用混合气体 3.5%氩/10ppm氙/氖现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-05-01 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0014-2022 集成电路用混合气体 30%氧/氦现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-05-01 官方全文 ↗
T/ICMTIAESG 0015-2022 集成电路用气体氘现行推荐团体标准中关村集成电路材料产业技术创新联盟

实施 2022-05-01 官方全文 ↗

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