中国电子专用设备工业协会

标准层级分布

现行 / 即将实施清单（前 200 条）

• T/CEPEA 0201-2024 集成电路装备用13.56 MHz射频电源通用技术规范 现行推荐团体标准中国电子专用设备工业协会
  实施 2026-06-25 官方全文 ↗
• T/CEPEA 0202-2024 半导体设备前端模块通用技术规范 现行推荐团体标准中国电子专用设备工业协会
  实施 2026-06-25 官方全文 ↗
• T/CEPEA 0101-2024 电子专用设备用13.56 MHz射频电源通用技术规范 现行推荐团体标准中国电子专用设备工业协会
  实施 2026-01-01 官方全文 ↗
• T/CEPEA 0102-2024 真空晶圆搬运机械手技术规范 现行推荐团体标准中国电子专用设备工业协会
  实施 2026-01-01 官方全文 ↗
• T/CEPEA 0103-2024 半导体集成电路制造用原子层沉积设备 现行推荐团体标准中国电子专用设备工业协会
  实施 2026-01-01 官方全文 ↗
• T/CEPEA 0201-2023 电容薄膜真空计 现行推荐团体标准中国电子专用设备工业协会
  实施 2025-02-15 官方全文 ↗
• T/CEPEA 0202-2023 8英寸双轴全自动单面晶圆减薄机 现行推荐团体标准中国电子专用设备工业协会
  实施 2025-02-15 官方全文 ↗
• T/CEPEA 0203-2023 车规级绝缘栅双极型晶体管模块全自动超声扫描检测方法 现行推荐团体标准中国电子专用设备工业协会
  实施 2025-02-15 官方全文 ↗
• T/CEPEA 0101-2023 IGBT模块焊接质量X射线实时成像检测方法 现行推荐团体标准中国电子专用设备工业协会
  实施 2024-03-15 官方全文 ↗
• T/CEPEA 0102-2023 化合物半导体器件刻蚀工艺静电卡盘 现行推荐团体标准中国电子专用设备工业协会
  实施 2024-03-15 官方全文 ↗
• T/CEPEA 0103-2023 车规级功率器件夹焊工艺成套设备 现行推荐团体标准中国电子专用设备工业协会
  实施 2024-03-15 官方全文 ↗

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